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化学调压阀可以控制因脉动等引起一次端压力的不安定，并安定地供给二次端。
另，因流出孔附于后方，故可控制二次端之流量。
压力、流量的调整有手动操作型及气动操作型两种。 |
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因于接液部中使用了耐蚀性最优异的氟化树脂之故，气体透过性强的液体自不待言，有机溶剂及其他，可广泛使用之安全性、信赖性最高之产品。 |
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弹簧系使用本公司独有之弹簧，耐蚀性极为优异。 |
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因应尺寸、规格、用途，具有可充份选择的多样性。 |
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FCRM型 (化学调压阀) |
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系纯水、药液用之定压控制阀。 |
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抑制一次端之压力变动，控制二次端压力于一定。 |
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以手动操作旋钮来设定二次端压力之手动操作型。 |
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FCR-25A-HP型 (化学调压阀) |
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期待已久的化学调压阀25A尺寸上场了。 |
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可对应因晶圆之大口径化所需大流量之控制。 |
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因系高耐压，故可对应各式各样的规格及用途。 |
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MCR型 (迷你化学调压阀) |
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系纯水、药液用之小型减压控制阀。 |
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以手动操作旋钮来设定二次端压力之手动操作型。 |
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二次端压力之调整幅度变寛。 |
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GCR-25A-HP型 (化学调压阀) |
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期待已久的化学调压阀25A尺寸上场了。 |
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可对应因晶圆之大口径化所需大流量之控制。 |
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因系高耐压，故可对应各式各样的规格及用途。 |
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GCRM-HP2型 (高压规格型) |
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与GCRM型标准相较，系将一次端压力范围及二次端压力范围设定可对应至高压规格之定压控制阀。 |
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GMCR-HP型 (高压规格型) |
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系纯水、药液用之小型减压控制阀。 |
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可设定二次端压力至高压之气动型。 |
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外附流出孔 |
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系纯水、药液用定压控制阀用之外附流出孔 |
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装设外附流出孔之后，二次端流量可维持固定。 (唯，二次端负荷有变动时，请使用CVR型、GCVRM型) |
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型号 |
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